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半導體檢測
落地式彩色共軛焦/CSG-A3535CO
- 特點
- ·大範圍表面形貌輪廓尺寸分析,臺階高度、寬度量測
- ·可以快速量測後生成3D圖,3D圖可自由調整觀看角度與比例
- ·軟體有即時影像視窗,且具備自動對焦功能,可快速觀察樣本表面與設定量測範圍
- ·可以客製化編輯、儲存和讀取量測流程檔,大幅減少人力操作成本
- ·軟體可以自動分析數值後,將量測總表自自動統整與輸出,以利批量產品分析比對
介紹
即时影像・待測物表面觀察
・自動對焦
・巡航拖曳移動
參數設定
・設備平台移動控制
・掃描參數設定
・設備訊息回饋
・報表顯示
自動化量測
・客製化編程,有效增加量測效率,降低操作員編程時間
・可儲存/讀取量測任務,提高生產過程中的量測效率
・自動分析數值
